研磨抛光中工件表面划痕的定义
划痕是指在工件被加工表面上随机分布的长短不一的线状缺损，是工件在加工过程中由于磨粒压入工件过深产生的表面缺陷，是影响工件表面质量的主要因素之一。在超精密研磨加工过程中，如果出现划痕，特别是在加工的后期产生了较大的划痕，将严重影响加工的效率。例如在精研或抛光等工序中，若发现了较大划痕，轻则浪费了前面加工工序，同时在去除前道工序产生划痕时要耗费很多额外的加工时间，极大的影响加工效率，重则导致工件的报废，降低产品合格率，造成不必要的浪费，增加原材料和加工成本。因此，划痕是制约超精密研磨抛光加工效率和表面质量提高的重要瓶颈，研究划痕产生以及避免有着重要的意义和价值。
划痕的产生通常有两种情况：一种是随机的、不可预知、不可再现的划痕，这类划痕大多数取决于研磨加工时，磨料中杂质的数量、混入的灰尘、研磨磨屑以及磨具上大颗磨粒等，特点是划痕深、数量少，具有偶然性、随机性。另外一种是由于研磨加工工艺参数选用不合理，或者磨具表面磨粒分布不均匀、磨粒大小不等造成的，这类划痕在工件表面形成的数量较多，深度较浅，并且其趋势与工件和磨具间相对运动轨迹吻合。
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